-11

-12

-13

-14

-21

-22

-23

-24

量測範圍

Z軸（縱方向）

50mm

X軸（橫方向）

100mm

200mm

精度

檢出器

Z軸指示精度

±(0.8+4H/100)μm  H=量測長度(mm)

測量解析度

0.025μm

驅動部

X軸指示精度

±(1+2L/100)μm

測量解析度

0.1μm

 真直度精度

1μm/100mm

2μm/200mm

感應方式

X軸（橫方向）

      Moire光柵尺

線型尺

檢出器

雷射光柵尺

速度

立柱上下速度(Z軸)

-

10mm/s(3mm/s)*1

-

10mm/s(3mm/s)*1

速度(X軸)

測量速度：0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s(8速)

檢出器

測針、測量力

交換式，10～30mN

測針半徑、材質

25μmR (24°圓錐超硬)  2支標準付屬品

測量方向、方式

拉，壓方向，上下方向

移動范圍

驅動部行程

100mm

200mm

測量高度

250mm

450mm

250mm

450mm

平臺

尺寸

600*317mm

1000*450mm

600*317mm

1000*450mm

容許載重量*2

41kg

35kg

26kg

41kg

35kg

29kg

20kg

35kg

其它

設置尺寸

橫

2000mm

2300mm

2000mm

2300mm

寬

1000mm

1000mm

高

1700mm

1900mm

1700mm

1900mm

質量

120kg

125kg

135kg

240kg

125kg

130kg

140kg

245kg

電源、消耗電力

單相AC100V±10％（要接地）﹑50/60Hz / 710VA